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半导体研磨废水处理方法

来源:上海纯水设备      2022-11-14 08:42:19      点击:
上海纯水设备http://www.gmpchs.com零排放 近年来,随着科技的一直提高和国民需求的日益增添,我国半导体消费行业得到了较快的发展,然而随之而来是少量的半导体废水排放问题,那么下面皙全环保就跟大家聊聊半导体研磨废水处理方法。

在集成电路封装制作过程中会对晶片进行切割和研磨,并且会运用超纯水进行洗净,这样就发生了少量的切割研磨废水。目前国内很多的厂家是采取加药混凝积淀和滤袋过滤方法处理的,出水到达污水综合处理达标排放的规范。

半导体研磨废水的处理方法,纯水设备其特性在于,包含如下步骤:

1)通过废水搜集箱搜集硅片研磨发生的废水;

2)应用水泵将废水泵入多介质过滤器进行一次过滤;

3)将经过一次过滤的水送入保安过滤器进行第二次过滤,所述的保安过滤器用于掩护超滤膜;

4)将经过第二次过滤的水送入超滤膜过滤安装中进行第三次过滤;

5)通过SDI测定仪或许浊度仪测定并判定经过第三次过滤的水能否契合欲先设定的规范请求,如契合规范请求,送入产水箱;纯水设备半导体超纯水设备上海纯水设备医用GMP纯化水设备 医用水处理设备